发明名称 REDUCED CHANNEL LENGTH LIGHTLY DOPED DRAIN TRANSISTOR USING IMPLANT OF A SUB-AMORPHOUS TILT ANGLE FOR FORMING INTERSTITIALS TO PROVIDE ENHANCED LATERAL DIFFUSION
摘要
申请公布号 KR100615657(B1) 申请公布日期 2006.08.25
申请号 KR20007010869 申请日期 2000.09.29
申请人 发明人
分类号 H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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