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发明名称 MIT EINER HAUT VERSEHENEN HOHLFERSERMEMBRAN UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG
摘要
申请公布号 DE60029308(D1) 申请公布日期 2006.08.24
申请号 DE2000629308 申请日期 2000.01.27
申请人 ENTEGRIS, INC. 发明人 CHENG, KWOK-SHUN;GATES, DEAN;YEN, Y.;PATEL, B.
分类号 B01D69/08;B01D61/18;B01D63/02;B01D67/00;B01D69/12;B01D71/32;B01D71/36;D01D5/24;D01F6/12;D01F6/32 主分类号 B01D69/08
代理机构 代理人
主权项
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