发明名称 Immersion lithographic process using a conforming immersion medium
摘要
申请公布号 GB2423374(A) 申请公布日期 2006.08.23
申请号 GB20060010782 申请日期 2004.10.26
申请人 ADVANCED MICRO DEVICES, INC 发明人 CHRISTOPHER F LYONS;CARL P BABCOCK;JONGWOOK KYE
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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