低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法

摘要

本发明公开了一种低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法，窗架为可伐合金材料，光学窗口为对红外透光的材料。该方法采用铟作为焊料，在光学窗口的焊接处真空镀膜Cr/Au层作为过渡层，在低温下焊接。本发明的最大优点是由于在低温下焊接，不会对红外光学窗口上的减反射膜产生任何不良影响；采用软金属铟作为焊料连结，可以缓冲光学窗口材料与可伐合金材料膨胀系数的差异，其漏气率优于3×10^－12乇.升/秒；放气率相对传统工艺要小很多。

主权项

1.一种低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法，其特征在于具体步骤如下：A.首先采用常规的光刻和掩膜方法，在红外光学窗口(1)与可伐合金窗架(2)凹槽(201)相焊接的环形面上用离子束溅射方法，依次溅射铬层(101)，厚度为300-400埃；金层(102)，厚度为1μm；然后在红外光学窗口表面的非焊接面上真空蒸涂减反射膜(203)；B.按可伐合金窗架凹槽(201)的形状和尺寸加工一个铟环(3)，铟环的高度要高于凹槽深度0.02-0.04mm；C.在可伐合金窗架凹槽(201)内均匀涂上氯化锌的乙二醇饱和溶液，作为助焊剂，将上述加工好的铟环(3)作为焊料放在凹槽内，再将其放入炉内(4)，在氮气的保护下，加热到160-170℃，保持5-6分钟，此时，焊料熔融且很饱满的填满槽内，然后停止加热，自然降至室温，再将其浸入无水乙醇中荡洗，再在氮气保护下加热至35-40℃烘干；D.对步骤A制备好的光学窗口的透光部位用光刻胶进行保护，保护红外窗口上的减反射膜，在光学窗口边缘的环行金层(102)上均匀涂上一层松香的乙醇饱和溶液，将光学窗口放入可伐合金窗架凹槽(201)上，使光学窗口的环行金层与凹槽内的铟相接触，然后在光学窗口上加一有重量的压块(5)，再将其放入炉内(4)，在氮气的保护下，加热到160-170℃，保持10分钟，此时，焊料熔融且焊料完全与金层贴合，降到室温后，将其浸入无水乙醇中荡洗，去除光刻胶，再在氮气保护下加热到40℃烘干，可伐合金窗架与红外光学窗口的焊接完毕。