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发明名称
A METHOD OF FABRICATING AN SOI WAFER AND SOI WAFER FABRICATED BY THE METHOD
摘要
申请公布号
KR100614120(B1)
申请公布日期
2006.08.22
申请号
KR19990026312
申请日期
1999.07.01
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/34;H01L21/762;H01L27/12
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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