发明名称 A METHOD OF FABRICATING AN SOI WAFER AND SOI WAFER FABRICATED BY THE METHOD
摘要
申请公布号 KR100614120(B1) 申请公布日期 2006.08.22
申请号 KR19990026312 申请日期 1999.07.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/02;H01L21/34;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
主权项
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