发明名称 Preparation method for clear metal composite films by using a pulsed DC bias coupled plasma enhanced chemical vapor deposition system
摘要
申请公布号 KR100613405(B1) 申请公布日期 2006.08.17
申请号 KR20040024733 申请日期 2004.04.10
申请人 发明人
分类号 G02F1/136 主分类号 G02F1/136
代理机构 代理人
主权项
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