用于涂覆光阻图样之组合物

摘要

本发明系关于用于涂覆光阻图样之水性涂覆组合物，该组合物包含一含有胺基之聚合物。本发明亦关于一用于制造一微电子装置之方法，该方法包含提供一具有一光阻图样之基板，以该新颖涂覆材料涂覆该光阻图样，使与该光阻图样接触之该涂覆材料之一部分反应，且以移除溶液移除该涂覆材料未反应之一部分。094137542-p01.bmp