多晶矽薄膜电晶体的制作方法

摘要

一种多晶矽薄膜电晶体的制作方法，系为在基板上形成非晶矽层之后，即对非晶矽层进行图案化，以形成矽岛图形，使提前定义出元件主动区域。接着，利用单发长脉冲雷射光束，照射矽岛图形，以诱发矽岛图形内产生超级横向长晶行为，而由非晶矽转变为多晶矽。最后，再依序进行后续薄膜电晶体制作流程，即完成多晶矽薄膜电晶体之制作。