开关线型移相器

摘要

一种微机电技术领域的开关线型移相器。本发明移相器由一段叉指式共面波导传输线、一段普通共面波导传输线、MEMS开关、开关馈线以及介质衬底组成，叉指式共面波导传输线、共面波导传输线、MEMS开关、开关馈线都设在介质衬底上，叉指式共面波导传输线和共面波导传输线并行，构成了开关线型移相器的两条传输路径，开关馈线与MEMS开关相连，用以控制MEMS开关的接通与断开，外界信号通过MEMS开关以及开关馈线控制选择接通其中的一条传输路径。本发明采用叉指式共面波导传输线和普通共面波导传输线作为开关线型移相器的传输路径，可以有效减小移相器整体尺寸，布线简单，通过调整共面波导传输线的结构参数可以得到低的插入损耗。

主权项

1、一种开关线型移相器，包括：一段叉指式共面波导传输线(1)、一段普通共面波导传输线(2)、MEMS开关(3)、开关馈线(4)以及介质衬底(5)，其特征在于，叉指式共面波导传输线(1)、共面波导传输线(2)、MEMS开关(3)、开关馈线(4)都设置介质衬底(5)上，叉指式共面波导传输线(1)和共面波导传输线(2)并行，构成了开关线型移相器的两条传输路径，开关馈线(4)与MEMS开关(3)相连，外界信号通过MEMS开关(3)以及开关馈线(4)控制选择接通其中的一条传输路径。