发明名称 PROCEDE DE REALISATION D'UNE STRUCTURE MULTI-COUCHES COMPORTANT, EN PROFONDEUR, UNE COUCHE DE SEPARATION
摘要
申请公布号 FR2870988(B1) 申请公布日期 2006.08.11
申请号 FR20040005883 申请日期 2004.06.01
申请人 BRUEL MICHEL 发明人 BRUEL MICHEL
分类号 H01L21/324;H01L21/762 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
主权项
地址