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发明名称 Speicher mit Grabenkondensator und Auswahltransistor und Verfahren zu seiner Herstellung
摘要
申请公布号 DE19941148(B4) 申请公布日期 2006.08.10
申请号 DE19991041148 申请日期 1999.08.30
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 TEMMLER, DIETMAR;BENZINGER, HERBERT;KARCHER, WOLFRAM;PUSCH, CATHARINA;SCHREMS, MARTIN;FAUL, JUERGEN
分类号 H01L27/108;H01L21/8242 主分类号 H01L27/108
代理机构 代理人
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