| 发明名称 | 有机金属络合物及其作为金属薄膜沉积前体的应用 | ||
| 摘要 | 本发明涉及有机金属前体，和在衬底例如硅、金属氮化物和其它金属层上制造含金属的保形薄膜的沉积方法。有机金属前体为下式的N，N′－烷基－1，1－烷基甲硅烷基氨基金属络合物，其中M为选自VIIb、VII、IX和X族的金属，并且金属的特定实例包括钴、铁、镍、锰、钌、锌、铜、钯、铂、铱、铼、锇，并且R<SUP>1－5</SUP>可相同或不同并选自氢、烷基、烷氧基、氟代烷基和烷氧基、脂环族基和芳基。 | ||
| 申请公布号 | CN1814605A | 申请公布日期 | 2006.08.09 |
| 申请号 | CN200610008926.0 | 申请日期 | 2006.01.28 |
| 申请人 | 气体产品与化学公司 | 发明人 | 雷新建;萧满超;H·思里丹达姆;K·S·库思尔 |
| 分类号 | C07F15/06(2006.01);C07F15/02(2006.01);C07F15/04(2006.01);C07F13/00(2006.01);C07F15/00(2006.01);C07F3/06(2006.01);C07F1/08(2006.01) | 主分类号 | C07F15/06(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 张轶东;赵苏林 |
| 主权项 | 1.以下结构表示的有机金属络合物：其中M为选自VIIb、VIII、IX和X族的金属，并且R1-5可相同或不同并选自氢、烷基、烷氧基、氟代烷基、氟代烷氧基、脂环族基和芳基。 | ||
| 地址 | 美国宾夕法尼亚州 | ||