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发明名称
摘要
申请公布号 JP3805750(B2) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 JP20030011843 申请日期 2003.01.21
申请人 发明人
分类号 H01L27/092;H01L29/423;H01L21/28;H01L21/8238;H01L29/49;H01L29/51 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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