能消除温度影响的表面等离子共振传感器及其制作方法

摘要

本发明公开一种表面等离子共振传感器及其制作方法，它涉及到传感器制作技术领域。首先以一种K9玻璃材料为衬底、在所述衬底上制备一单模条形光波导、在所述光波导上淀积一层厚度约为50nm的金属薄膜、在所述金属薄膜上制作一个微型样品池和一个微型参考池；测量时在参考池中装入蒸馏水，用于获取共振波长变化的参考点。基于共振波长差的变化，实现对样品组份的微量检测。经理论分析可知，由于采用了参考池，且它和样品池有相同的温度，使传感器克服了由温度漂移引起的测量误差。该化学SPR传感器，可对海水盐度、溶液中葡萄浓度或乙醇浓度进行检测，精度可达10^－6 (0.0001％)。

主权项

1、一种能消除温度对测量结果带来影响的表面等离子共振传感器，首先以K9玻璃材料为衬底制作条形光波导，在波导上使用磁控溅射技术淀积一层金属薄膜，在金属薄膜上设置一微型样品池和一微型参考池；测量时在样品池中装入待测样品液；同时在参考池中注入参考溶液，用于获取共振波长变化的参考点。