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发明名称 OPTIMIZED METHOD OF TRANSFER OF A THIN LAYER OF SILICON CARBIDE TO A RECEIVING SUBSTRATE
摘要
申请公布号 EP1468445(B1) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 EP20030701540 申请日期 2003.01.21
申请人 S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES 发明人 GHYSELEN, BRUNO;LETERTRE, FABRICE
分类号 H01L21/18;H01L21/265;H01L21/02;H01L21/20;H01L21/266;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12 主分类号 H01L21/18
代理机构 代理人
主权项
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