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发明名称 SPIN-ON GLASS COMPOSITION AND METHOD OF FORMING A SILICON OXIDE LAYER IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURING PROCESS USING THE SAME
摘要
申请公布号 KR100611115(B1) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 KR20040026502 申请日期 2004.04.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/316 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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