发明名称 Diaphragm valve for atomic layer deposition
摘要
申请公布号 GB0612855(D0) 申请公布日期 2006.08.09
申请号 GB20060012855 申请日期 2004.06.28
申请人 PLANAR SYSTEMS INC 发明人
分类号 F16K7/14;F16K31/06;F16K49/00 主分类号 F16K7/14
代理机构 代理人
主权项
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