固体摄像元件的制造方法

摘要

本发明提供一种固体摄像元件的制造方法，在规定的膜的整个面上涂敷成为第1滤色层的负型彩色抗蚀剂，对规定的位置照射曝光光束，通过显影形成第1滤色层，在整个面上以覆盖第1滤色层的方式涂敷成为第2滤色层的负型彩色抗蚀剂，对比第1滤色层所包围的区域小的区域照射曝光光束，通过显影形成第2滤色层。此外，本发明提供具有多色的滤色层的固体摄像元件，使该滤色层的边缘呈锥状或反锥状或楔形，以使邻接的滤色层相互间彼此组合在一起。根据本发明能大幅度地减少在利用一般的光刻技术形成滤色层时所产生的光电变换部特性的面内分布或能减少因使用分割曝光法形成滤色层所产生的各曝光区域间的摄像图像的图像不匀。

主权项

1.一种固体摄像元件的制造方法，该固体摄像元件具有由彩色抗蚀剂构成的多色的滤色层，其特征在于：在规定的膜的整个面上涂敷成为第1滤色层的彩色抗蚀剂，对规定的位置照射曝光光束，通过显影形成上述第1滤色层，在整个面上以覆盖上述第1滤色层的方式涂敷成为第2滤色层的彩色抗蚀剂，在上述第1滤色层所包围区域的内侧区域中形成照射曝光光束的区域与不照射曝光光束的区域之间的边界，通过显影形成上述第2滤色层。