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发明名称
an anti-contamination plate for thin film forming apparatus and a manufacturing method therefor
摘要
申请公布号
KR100609378(B1)
申请公布日期
2006.08.08
申请号
KR20040056352
申请日期
2004.07.20
申请人
发明人
分类号
H01L21/20
主分类号
H01L21/20
代理机构
代理人
主权项
地址
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