发明名称 an anti-contamination plate for thin film forming apparatus and a manufacturing method therefor
摘要
申请公布号 KR100609378(B1) 申请公布日期 2006.08.08
申请号 KR20040056352 申请日期 2004.07.20
申请人 发明人
分类号 H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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