| 发明名称 |
Lithographischer Apparat, Verfahren zur Herstellung einer Vorrichtung, sowie durch dieses Verfahren hergestellte Vorrichtung |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
DE60120825(D1) |
申请公布日期 |
2006.08.03 |
| 申请号 |
DE20016020825 |
申请日期 |
2001.04.06 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
SCHEIBERLICH, ARIE CORNELIS;FIEN, MENNO;DRAAIJER, EVERT HENDRIK JAN |
| 分类号 |
G01B21/00;G03F7/20;G01B21/22;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B21/00 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
