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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum optischen Polieren
摘要
申请公布号 DE69635385(T2) 申请公布日期 2006.08.03
申请号 DE19966035385T 申请日期 1996.06.17
申请人 OPTICAL INVESTMENTS LTD. 发明人 WALKER, DAVID DOUGLAS;BINGHAM, RICHARD GEORGE;KIM, SUG-WHAN;PUTTICK, KEITH ERNEST
分类号 B24B13/015;B24B47/12;B24B13/01;B24B29/02;B24B37/00;B24B41/04;B24B47/14;B24D13/14 主分类号 B24B13/015
代理机构 代理人
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