| 发明名称 |
Precursor material delivery system for atomic layer deposition |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2415967(B) |
申请公布日期 |
2006.08.02 |
| 申请号 |
GB20050020448 |
申请日期 |
2003.09.10 |
| 申请人 |
PLANAR SYSTEMS INC |
发明人 |
BRADLEY J AITCHISON;JARMO ILMARI MAULA;HANNU LESKINEN;TEEMU LANG;PEKKA KUOSMANEN;KARI HAERKOENEN;MARTTI SONNINEN;TOMMY TURKULAINEN |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C30B25/14 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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