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经营范围
发明名称
WAFER CLEANING METHOD IN THE SEMICONDUCTOR PROCESSING
摘要
申请公布号
KR100611008(B1)
申请公布日期
2006.08.02
申请号
KR20050099562
申请日期
2005.10.21
申请人
DONGBU ELECTRONICS CO., LTD.
发明人
PARK, DONG HOON
分类号
H01L21/304
主分类号
H01L21/304
代理机构
代理人
主权项
地址
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