| 发明名称 |
A COMPOSITION AND SLURRY USEFUL FOR METAL CMP |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
KR20060087359(A) |
申请公布日期 |
2006.08.02 |
| 申请号 |
KR20050018499 |
申请日期 |
2005.03.07 |
| 申请人 |
CABOT MICROELECTRONICS CORPORATION |
发明人 |
GRUMBINE STEVEN K.;STREINZ CHRISTOPHER C.;MUELLER BRIAN L. |
| 分类号 |
B24B37/00;C09K3/14;C09G1/02;C09K13/04;C09K13/06;C23F3/00;H01L21/304;H01L21/321 |
主分类号 |
B24B37/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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