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发明名称
Apparatus and method for controlling the stripping of silicon nitride
摘要
申请公布号
KR100607797(B1)
申请公布日期
2006.08.02
申请号
KR20040073332
申请日期
2004.09.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/3063
主分类号
H01L21/3063
代理机构
代理人
主权项
地址
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