| 发明名称 | 等离子体发生系统 | ||
| 摘要 | 本发明提供了一种等离子体发生系统。该等离子体发生系统包括：一个微波发生器，用于产生微波；一个折射器，它通过改变上述微波的传播方向以平面波的形式传送上述微波；一个电磁单元，用以对上述微波形成的等离子体施加磁场并使之产生电子回旋谐振。 | ||
| 申请公布号 | CN1268178C | 申请公布日期 | 2006.08.02 |
| 申请号 | CN200310118192.8 | 申请日期 | 2003.11.25 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 安德烈·佩特林;许智贤;申在光 |
| 分类号 | H05H1/46(2006.01);C23F4/04(2006.01);H01L21/3065(2006.01) | 主分类号 | H05H1/46(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 李瑞海;王景刚 |
| 主权项 | 1.一种等离子体发生系统，包括：一个微波发生器，用于产生微波；一个折射器，用于改变上述微波的传播方向；一个电磁装置，用于向上述微波形成的等离子体施加磁场以产生电子回旋谐振。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||