| 摘要 |
〔课题〕针对板状工作件之搬送系统，在使用匣盒的情况，虽然多量搬送是可能的，但是当要对应个别搬送的时候，则会使搬送效率低下；另一方面，在以板状工作件本身或是利用托盘保护来进行搬送之情况，则无法提高全体的搬送效率。〔解决手段〕配备一个储藏库4、对应此储藏库4而被设置之复数个处理装置3、和对应各个处理装置3而被设置之缓冲站5A．5B：储藏库4和各缓冲站5A．5B之间，作成托盘2之积层体10要被搬送之批式搬送区间；各缓冲站5A．5B和各处理装置3之间，作成托盘2要被搬送之板片搬送区域；在缓冲站5A中，设置分散装置8A；在缓冲站5B中，设置堆叠装置8B。 |
