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发明名称
形成钝化层的方法
摘要
一种用于形成一钝化层之方法、装置、元件及/或系统的具体实施。
申请公布号
TW200627594
申请公布日期
2006.08.01
申请号
TW094131322
申请日期
2005.09.12
申请人
惠普研发公司;俄勒冈州立大学
发明人
贺夫曼 兰迪;华格 约翰;洪 大卫;江海
分类号
H01L21/84
主分类号
H01L21/84
代理机构
代理人
恽轶群;陈文郎
主权项
地址
美国
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