| 主权项 |
1.一种照射距离自动调整方法,其具备: 雷射振荡装置(1),承载被照射物5之台面(10),使台面 (10)对雷射振荡装置(1)相对移动于特定方向(X)之移 动装置(20),在每一特定间隔中将依次通过光栅21与 物镜3而由物镜3聚焦之来自雷射振荡装置1之脉冲 雷射4照射于承载于台面10上面之被照射物5,其特 征具备: 升降驱动装置30,使台面10对雷射振荡装置1,光栅21 及物镜3相对升降移动, 距离计31,设置于脉冲雷射4对上述被照射物5之照 射位置到台面10之进行方向后侧隔着特定距离L之 雷射振荡装置1的侧部,并依次测定上述被照射物5 与脉冲雷射4之照射面之距离h并输出检测値hn,以 及 基本控制値设定手段32,用于输出与承载于台面10 之被照射物5与物镜3之间的恰当距离相对应之基 本控制値H,并且 依次求取基本控制値H与检测値hn之差値n,同时 求取前面所求差値n-1与后续所求差値n之差所 构成之控制差値,并将该控制差値仅延迟台面 10移动上述特定距离L所需要之时间输出,而且 藉由依照控制差値驱动升降驱动装置30,保持光 栅21与物镜3之固定间隔以控制物镜3与承载于台面 10之被照射物5之脉冲雷射4之照射面之距离。 2.一种照射距离自动调整装置,具备雷射振荡装置1 ,承载被照射物5之台面10,以及将台面10对雷射振荡 装置1相对移动于特定方向(X)之移动装置20,并且在 每一间隔中将依次通过光栅21及物镜3而由物镜3聚 焦之来自雷射振荡装置1之脉冲雷射4照射于承载 于台面10上面之被照射物5,其特征具备: 升降驱动装置30,使台面10对雷射振荡装置1,光栅21 及物镜3相对升降移动, 距离计31,设置于由对脉冲雷射4之上述被照射物5 之照射位置到台面10之进行方向后侧隔着特定距 离L之雷射振荡装置1之侧部,并依次测定与上述被 照射物5之脉冲雷射4之照射面之距离h而输出检测 値hn,以及 基本控制値设定手段32,用于输出与承载于台面10 之被照射物5与物镜3之间的距离相对应之基本控 制値H, 第1演算手段33,用于依次求取基本控制値H与检测 値hn之差値n, 记忆手段35,用于记忆前面求得之差値n-1, 第2演算手段36,用于求取由前面所求得之差値n-1 与后续求得之差値n之差所构成之控制差値, 以及 延迟手段34,将该控制差値仅延迟台面10移动上 述特定距离L所需要之时间而输出,而且, 藉由依照控制差値驱动升降驱动装置30,保持光 栅21与物镜3之固定间隔以控制物镜3与承载于台面 10之被照射物5之脉冲雷射4之照射面之距离。 3.如申请专利范围第2项之之照射距离自动调整装 置,其中延迟手段34系由第1FIFO记忆体45所构成,该 检测値hn仅延迟台面10移动上述特定距离L所需要 之时间而输出以延迟控制差値之输出。 4.如申请专利范围第2或3之照射距离自动调整装置 ,其中记忆手段(35)系由第2FIFO记忆体46所构成。 图式简单说明: 图1为表示本发明之一实施形态有关之照射距离自 动调整装置之构成要件之图。 图2为表示相同图中重要部分之图。 图3为表示相同图中使台面移动之X轴伺服,使照射 距离自动调整装置操作之Z轴伺服及雷射振荡装置 之驱动连贯而得之构造之图。 图4为表示相同图中将来自雷射振荡装置之脉冲雷 射照射于台面上之被照射物之状态,(甲)为正面图, (2)为右侧面图。 图5为表示用于计测先前之物镜与被照射物在光轴 上之距离的装置之正面图。 图6为表示相同图中以测定器接受之光的形状之图 。 |
