基板处理系统

摘要

【课题】目的在于提供一种，在被处理基板表面涂敷形成处理液之膜，和曝光装置连动而于基板形成特定图案的基板处理系统，其可对各基板均匀涂敷处理液，可提升和曝光装置连动时之基板处理效率。【解决手段】在被处理基板表面涂敷形成处理液之膜，和曝光装置连动而于基板形成特定图案的基板处理系统100，具备：涂敷膜形成手段，具有：分别载置被处理基板的第1平台50与第2平台59；及对上述第1平台50与第2平台59分别载置之被处理基板表面涂敷处理液而形成膜的处理液涂敷手段；及基板搬送手段42a、42b，对多数曝光装置4a、4b，进行经由上述涂敷膜形成手段形成有膜的被处理基板之搬送。