用于电浆均匀性与减少元件损坏之对于尖端、螺线管与镜像场具有最少直流电线圈的电浆反应器

摘要

本发明揭示一种用以处理一工作部件之电浆反应器，其包含一真空室及一工作部件支架垫座，其中该真空室藉由一侧壁及顶盖界定，该工作部件支架垫座系具有位于该室内之工作部件支架表面、面对该顶盖且包含一阴极电极。一RF发电器耦合于该阴极电极。藉由位于覆盖该工作部件支架表面之第一平面中的外界环状内部电磁铁，位于覆盖该工作部件支架表面之第二平面中且直径大于该内部电磁铁的外界环状外部电磁铁，及位于覆盖该工作部件支架表面之第三平面中的外界环状底部电磁铁，可控制电浆之分布。直流电流供应连接于该内部、外部及底部的电磁铁之各者。