制造用于微机电系统预结构之方法

摘要

一种制造一干涉式调变器元件之方法，包括在一基板上形成至少两个柱，例如由旋涂玻璃形成之柱。在替代实施例中，该等柱可在基板上沈积某些调变器元件层之后形成。一干涉式调变器元件包括至少两个位于基板上之旋涂玻璃支柱。在替代实施例中，该等支柱可位于某些调变器元件层上而非位于基板上。一种制造一干涉式调变器元件之方法，包括在一支柱上形成一刚性帽。一干涉式调变器元件包括具有刚性帽部件之支柱。