发明名称 METHOD FOR FABRICATING INTE METAL DIELECTRIC LAYER
摘要
申请公布号 KR100607749(B1) 申请公布日期 2006.08.01
申请号 KR20040113662 申请日期 2004.12.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/3205;H01L21/306;H01L21/312 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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