发明名称 Electro-mechanical transducers and the fabrication thereof
摘要
申请公布号 US3242552(A) 申请公布日期 1966.03.29
申请号 US19640419243 申请日期 1964.12.17
申请人 ANTOMATION INDUSTRIES, INC. 发明人 COWAN JOHN V.
分类号 B06B1/06;G10K11/32;H01L41/22 主分类号 B06B1/06
代理机构 代理人
主权项
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