发明名称 BOAT STRUCTURE OF BELL-SHAPED FURNACE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING
摘要
申请公布号 KR20060085388(A) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 KR20050006228 申请日期 2005.01.24
申请人 SAMSUNG ELECTRONICS CO., LTD. 发明人 LEE, CHANG RO
分类号 H01L21/205;H01L21/02 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址