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发明名称 Temperatursonde und Messmethode für Niederdruckprozess
摘要
申请公布号 DE69927921(T2) 申请公布日期 2006.07.27
申请号 DE19996027921T 申请日期 1999.12.13
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 PENELON, JOEL;CARDOSO, ANDRE GIL
分类号 G01K1/14;H01L21/302;G01K1/08;G01K1/16;G01K7/00;H01L21/205;H01L21/66 主分类号 G01K1/14
代理机构 代理人
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