| 发明名称 |
A lithographic projection mask, a device manufacturing method using a lithographic projection mask and a device manufactured thereby |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
SG123589(A1) |
申请公布日期 |
2006.07.26 |
| 申请号 |
SG20030007556 |
申请日期 |
2003.12.18 |
| 申请人 |
ASML NETHERLANDS B.V. |
发明人 |
BEST KEITH FRANK;CONSOLINI, JOSEPH, J.;FRIZ ALEXANDER |
| 分类号 |
G01B11/00;G03F9/00;H01L21/027 |
主分类号 |
G01B11/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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