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发明名称 CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE
摘要
申请公布号 KR20060084701(A) 申请公布日期 2006.07.25
申请号 KR20050005489 申请日期 2005.01.20
申请人 SAMSUNG SDI CO., LTD. 发明人 KIM, MYOUNG SOO;HUH, MYUNG SOO;KIM, HAN KI;LEE, KYU SUNG
分类号 C23C16/00 主分类号 C23C16/00
代理机构 代理人
主权项
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