| 主权项 |
1.一种光罩微尘清除器,系置于一光罩微尘侦测器 的前方,至少包括: 至少一喷气构件,其可朝一光罩的表面喷气以清除 微尘;以及 一支撑构件,用以将该喷气构件支撑在该光罩微尘 侦测器的前方。 2.如申请专利范围第1项所述之光罩微尘清除器,其 中该喷气构件包括复数个多向喷气头,且每一该些 多向喷气头具有喷气方向各不相同的复数个喷气 孔。 3.如申请专利范围第2项所述之光罩微尘清除器,其 中该喷气构件包括: 一主体,具有一供气入口及与其连通之复数个孔穴 ,其中该些孔穴系与该些多向喷气头相对应,且具 有倾斜的侧壁; 复数个插塞,其系嵌于该些孔穴中,且周围有复数 个纵向凹槽,以在该些插塞与该主体之间,形成与 该供气入口连通的复数个供气管道及对应之该些 喷气孔。 4.如申请专利范围第3项所述之光罩微尘清除器,其 中该些插塞的顶端系呈突出圆弧状。 5.如申请专利范围第2项所述之光罩微尘清除器,其 中每一该些多向喷气头具有喷气方向各不相同的4 个喷气孔。 6.如申请专利范围第1项所述之光罩微尘清除器,其 系藉由该支撑构件固定在该光罩微尘侦测器上。 7.如申请专利范围第1项所述之光罩微尘清除器,其 中该喷气构件系与一微尘过滤器相连。 8.一种光罩微尘清除器,其系置于一光罩微尘侦测 器的前方,且至少包括: 二喷气构件,其间可容一光罩通过,并可分别朝该 光罩的上下两面喷气以清除微尘;以及 一支撑构件,用以将该二喷气构件支撑在该光罩微 尘侦测器的前方。 9.如申请专利范围第8项所述之光罩微尘清除器,其 中每一该些喷气构件包括复数个多向喷气头,且每 一该些多向喷气头具有喷气方向各不相同的复数 个喷气孔。 10.如申请专利范围第9项所述之光罩微尘清除器, 其中每一该些喷气构件包括: 一主体,具有一供气入口及与其连通之复数个孔穴 其中该些孔穴系与该些多向喷气头相对应,且具有 倾斜的侧壁; 复数个插塞,其系嵌于该些孔穴中,且周围有复数 个纵向凹槽,以在该些插塞与该主体之间,形成与 该供气入口连通的复数个供气管道及对应之该些 喷气孔。 11.如申请专利范围第10项所述之光罩微尘清除器, 其中该些插塞的顶端系呈突出圆弧状。 12.如申请专利范围第9项所述之光罩微尘清除器, 其中每一该些多向喷气头具有喷气方向不同的4个 喷气孔。 13.如申请专利范围第8项所述之光罩微尘清除器, 其中该二喷气构件系与一微尘过滤器相连。 14.如申请专利范围第8项所述之光罩微尘清除器, 其中该光罩微尘清除器系藉由该支撑构件固定在 该光罩微尘侦测器上。 15.一种光罩微尘清除程序,系使用一光罩微尘侦测 器及置于其前方的一光罩微尘清除器来进行,其中 该光罩微尘清除器包括至少一喷气构件,该喷气构 件可朝一光罩表面喷气以清除微尘,该程序包括: (a).令该光罩经过该喷气构件而送入该光罩微尘侦 测器中,以侦测该光罩上是否有微尘; (b).侦测后将该光罩退出该微尘侦测器; (c).如该光罩上有微尘,即启动该光罩微尘清除器 并由上述步骤(a)重新开始程序;如该光罩上无微尘 ,即结束该光罩微尘清除程序。 16.如申请专利范围第15项所述之光罩微尘清除程 序,其中该光罩微尘清除器包括二喷气构件,且该 二喷气构件之间可容该光罩通过,而在步骤(a)中, 该光罩系经由该二喷气构件之间而送入该光罩微 尘侦测器中。 17.如申请专利范围第15项所述之光罩微尘清除程 序,其中在将该光罩送入该光罩微尘侦测器中时, 该光罩上之一保护膜系朝向下方。 18.如申请专利范围第15项所述之光罩微尘清除程 序,其中系使用一机械臂移动该光罩。 图式简单说明: 第1(a)、(b)及(c)图分别绘出本发明较佳实施例之光 罩微尘清除器的前视图、侧视图及上视图,此光罩 微尘清除器系安装在一光罩微尘侦测器(PPD)上;1(d) 图绘示1(a)图中喷气构件的局部放大图,且1(e)图绘 示该部分之喷气构件的上视图。 第2(a)、(b)图分别绘出喷气构件上之多向喷气头之 一实例的结构侧视图与上视图。 第3图为以本发明之光罩微尘清除器的两个喷气构 件清除光罩上微尘的示意图。 第4图绘示本发明较佳实施例之光罩微尘清除程序 中光罩的移动方向。 第5图显示本发明较佳实施例之光罩微尘清除程序 的流程。 |
