| 主权项 |
1.一种湿度感测元件之电极结构,用以感测环境湿 度,该湿度感测元件包括: 一基板,作为该湿度感测元件的基体,在该基板之 表面形成有一预定图型之湿度感测区; 一阳极工作电极,布设在该基板之湿度感测区,该 阳极工作电极经由一阳极延伸区段连接于一阳极 接触垫; 一阴极工作电极,布设在该基板之湿度感测区,且 与该阳极工作电极呈相对应及相互绝缘,该阴极工 作电极经由一阴极延伸区段连接于一阴极接触垫; 一阳极导电层,覆设在该阳极工作电极之表面; 一阴极导电层,覆设在该阴极工作电极之表面; 一湿度感测膜,覆设在该阳极导电层及阴极导电层 上以及整个基板之表面; 其中该湿度感测膜在被施加一预设频率及电压値 之交流工作电压之下,可由该感测膜经由电气特性 变化状况而据以检测出湿度之变化。 2.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该基板所使用之材料系选自于陶瓷材料。 3.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该基板所使用之材料系选自于高分子材料 。 4.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该阳极工作电极及阴极工作电极所使用之 材料系选自于铜、镍、银、铂、金、钯、钌之一 。 5.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该阳极导电层及阴极导电层所使用之材料 系选自于碳黑与高分子材料之复合材料。 6.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该阳极导电层及阴极导电层所使用之材料 系选自于石墨与高分子材料之复合材料。 7.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该阳极导电层及阴极导电层所使用之材料 系选自于导电高分子。 8.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该阳极导电层及阴极导电层所使用之材料 系选自于惰性金属。 9.如申请专利范围第1项之湿度感测元件之电极结 构,其中该湿度感测膜所使用之材料系选自于高分 子材料。 10.一种湿度感测元件之电极结构,用以感测环境湿 度,该湿度感测元件包括: 一基板,作为该湿度感测元件的基体,在该基板之 表面形成有一预定图型之湿度感测区; 一阳极导电层,布设在该基板之湿度感测区,作为 该湿度感测元件之阳极工作电极,该阳极导电层材 料系选自于下列材料之一:(a)碳黑或石墨与高分子 材料之复合材料(b)导电高分子(c)惰性金属; 一阴极导电层,布设在该基板之湿度感测区,且与 该阳极导电层呈相对应及相互绝缘,以作为该湿度 感测元件之阴极工作电极,该阴极导电层材料系选 自于下列材料之一:(a)碳黑或石墨与高分子材料之 复合材料(b)导电高分子(c)惰性金属; 一湿度感测膜,覆设在该阳极导电层及阴极导电层 上以及整个基板之表面; 其中该湿度感测膜在被施加一预设频率及电压値 之交流工作电压之下,可由该感测膜经由电气特性 变化状况而据以检测出湿度之变化。 11.如申请专利范围第10项之湿度感测元件之电极 结构,其中该基板所使用之材料系选自于陶瓷材料 。 12.如申请专利范围第10项之湿度感测元件之电极 结构,其中该基板所使用之材料系选自于高分子材 料。 13.如申请专利范围第10项之湿度感测元件之电极 结构,其中该湿度感测膜所使用之材料系选自于高 分子材料。 图式简单说明: 第一图系显示习知湿度感测元件之平面示意图; 第二图系显示第一图中2-2断面之剖视图; 第三图系显示本发明第一实施例湿度感测元件于 制作时之平面图一; 第四图系显示本发明第一实施例湿度感测元件于 制作时之平面图二; 第五图系显示本发明第一实施例湿度感测元件于 制作时之平面图三; 第六图系显示第五图中6-6断面之剖视图; 第七图系显示本发明第二实施例湿度感测元件之 剖视图。 |
