发明名称 METHOD FOR DEPOSITING alpha;-NPB THIN LAYER WITH CVD
摘要
申请公布号 KR20060082931(A) 申请公布日期 2006.07.20
申请号 KR20050003300 申请日期 2005.01.13
申请人 MECHARONICS CO., LTD. 发明人 KIM, HYUN CHANG;JANG, HYUK KYU
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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