СПОСОБ И УСТРОЙСТВО ДЛЯ СУШКИ ПОВЕРХНОСТЕЙ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ ПЛАСТИН СО МНОЖЕСТВОМ РАСПОЛОЖЕННЫХ РЯДОМ С ПОВЕРХНОСТЯМИ ПЛАСТИНЫ ВПУСКНЫХ И ВЫПУСКНЫХ ОТВЕРСТИЙ
摘要
申请公布号
RU2004113416(A)
申请公布日期
2006.07.20
申请号
RU20040113416
申请日期
2003.09.30
申请人
ЛАМ РИСЕРЧ КОРПОРЕЙШН (US)
发明人
ДЕ-ЛАРИОС Джон М. (US);ГАРСИА Джеймс П. (US);ВУДС Карл (US);РАВКИН Майк (US);РЕДЕКЕР Фритц (US);БОЙД Джон (US);НИКХАУ Афшин (US)
