包括集成微机械式环形谐振器的时基

摘要

本文所描述的时基包括谐振器(4)和集成电子电路(3)，集成电子电路(3)用于驱动谐振器发生振荡并随此振荡产生具有确定频率的信号。本谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，它支承在衬底(2)上方且适合环绕与衬底基本垂直的旋转轴(O)振荡。环形谐振器包括从衬底沿旋转轴伸出的立柱(5)，和独立式振荡构件(6)，该独立式振荡构件包括与旋转轴共轴的外环(60)和许多环绕立柱对称布置且将外环连接到立柱的弹性元件(62)。

主权项

1.时基包括一个谐振器(4)和一个用于驱动该谐振器(4)发生振荡以便随此振荡产生具有确定频率的信号的集成电子电路，其特征在于，所述谐振器是一集成微机械式环形谐振器(4)，该谐振器(4)支承在衬底(2)的上方且适宜于按第一振荡模式绕与所述衬底(2)基本垂直的旋转轴(○)发生振荡，该环形谐振器(4)包括：一中央立柱(5)，由所述衬底(2)沿旋转轴(○)伸出；一独立式振荡构件(6)，连接中央立柱(5)且包括：一外环(60)，与所述旋转轴(○)共轴；一些弹性元件(62)，对称地配置在中央立柱(5)的周围且将外环(60)与中央立柱(5)连接起来；及至少一对沿直径方向对置的电极构件(9，9*)，它们配置在外环(60)的周围并与所述集成电子电路(3)连接；所述时基的特征还在于，所述弹性元件(62)呈弯曲形且由第一接合处(3)基本垂直地与所述中央立柱(5)进行连接，每个弹性元件(62)从该中央立柱(5)沿与所述旋转轴(○)正交的径向线的延长线向外延伸出去。