具有凸块之晶圆结构

摘要

一种具有凸块之晶圆结构，系具有一保护层及复数个暴露出保护层之晶圆焊垫。再者，更包含有依序由铝金属层、钛铜合金层及铜金属层所组成之球底金属层结构形成于每一晶圆焊垫上。