基板输送装置及方法

摘要

本发明系一种基板输送装置及方法，基板输送装置包括一壳体，该壳体包括有一上表面、一下表面、一侧壁、一前开口、一后开口、复数承载元件以及一连轴装置，该后开口系提供基板进入该壳体中，而该前开口提供该基板由该壳体离开，该等承载元件被设于该壳体中并连接该侧壁，其中该侧壁系以复数柱体形成，另外，该装置更包括有一驱动单元以及一转轴，该驱动单元及转轴用以产生且传递一旋转力至该连轴装置，透过该连轴装置将旋转力再传至该等承载元件，以提供该基板可于壳体中输送。