空气供应系统、压力调节装置及制造系统

摘要

一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台之一无尘室之中，其包括有一外气空调单元、一进气导管、一二次空调箱或外气空调箱、一第一空气输送管、一第二空气输送管以及一排气导管。该进气导管系连接于该无尘室外部与该外气空调单元。该第一空气输送管系连接于该外气空调单元与该二次空调箱之间，用以将流经该外气空调单元之空气输送至该二次空调箱之中。该第二空气输送管系连接于该二次空调箱与该重要制程机台之间，用以将流经该二次空调箱之空气输送至该重要制程机台之中。