浸泡式微影之基板置放

摘要

本发明揭示一种用于决定一基板之一中心与一吸盘内一凹陷之一中心间的一偏移之方法，该方法包括对该凹陷提供一测试基板，该测试基板具有小于该凹陷之一尺寸的一尺寸；测量该测试基板处于该凹陷内时的一对准标记之一位置；以及决定该基板之该中心与该凹陷之该中心距离该对准标记之该位置间的该偏移。