发明名称 VORRICHTUNG ZUR SCHNELLEN, QUANTITATIVEN, KONTAKTLOSEN TOPOGRAFISCHEN UNTERSUCHUNG VON HALBLEITERSCHEIBEN ODER SPIEGELÄHNLICHEN OBERFLÄCHEN
摘要
申请公布号 AT332498(T) 申请公布日期 2006.07.15
申请号 AT20020785145T 申请日期 2002.10.01
申请人 HUNGARIAN ACADEMY OF SCIENCES RESEARCH INSTITUTE FOR TECHNICAL PHYSICS AND MATERIALS SCIENCE;FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. 发明人 LUKACS, ISTVAN, ENDRE;MAKAI, JANOS;RIESZ, FERENC;SZENTPALI, BELA;PFITZNER, LOTHAR
分类号 G01B11/30;G01N21/95;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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