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发明名称 DEVICE AHD METHOD FOR POLISHING WAFERS WITH ABRASIVE BOUND IN A FOAMED PLASTIC
摘要 A polishing tool is disclosed with the polishing abrasive bonded in a foamed plastic mass.
申请公布号 WO2006072452(A1) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 WO2005EP14132 申请日期 2005.12.30
申请人 SUPFINA GRIESHABER GMBH & CO .KG;KEIPKE, ROY;MUELLER, CHRISTOPH 发明人 KEIPKE, ROY;MUELLER, CHRISTOPH
分类号 B24B37/16;B24B37/30;B24B41/04 主分类号 B24B37/16
代理机构 代理人
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