发明名称 Filtereinrichtung für die Kompensation einer asymmetrischen Pupillenausleuchtung
摘要 Die Erfindung betrifft eine Filtereinrichtung für ein Beleuchtungssystem, insbesondere zur Korrektur der Ausleuchtung der Beleuchtungspupille, mit einer Lichtquelle, wobei das Beleuchtungssystem von der Lichtquelle zu einer Objektebene von einem Beleuchtungsstrahlbündel durchlaufen wird, wobei das Beleuchtungsstrahlbündel auf die Filtereinrichtung auftrifft, umfassend wenigstens ein Filterelement, das in den Strahlengang des Beleuchtungsstrahlbündels eingebracht werden kann, DOLLAR A wobei das Filterelement eine Stelleinrichtung aufweist, so dass das Filterelement mithilfe der Stelleinrichtung im Beleuchtungsstrahlbündel verbracht werden kann.
申请公布号 DE102004063314(A1) 申请公布日期 2006.07.13
申请号 DE20041063314 申请日期 2004.12.23
申请人 CARL ZEISS SMT AG 发明人 FIOLKA, DAMIAN;MAUL, MANFRED
分类号 G03F7/20;G02B5/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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