摘要 |
Die Erfindung betrifft eine Filtereinrichtung für ein Beleuchtungssystem, insbesondere zur Korrektur der Ausleuchtung der Beleuchtungspupille, mit einer Lichtquelle, wobei das Beleuchtungssystem von der Lichtquelle zu einer Objektebene von einem Beleuchtungsstrahlbündel durchlaufen wird, wobei das Beleuchtungsstrahlbündel auf die Filtereinrichtung auftrifft, umfassend wenigstens ein Filterelement, das in den Strahlengang des Beleuchtungsstrahlbündels eingebracht werden kann, DOLLAR A wobei das Filterelement eine Stelleinrichtung aufweist, so dass das Filterelement mithilfe der Stelleinrichtung im Beleuchtungsstrahlbündel verbracht werden kann.
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